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真空镀膜的常见故障以及处理方法总结

发布日期:2020-10-21 09:04:21
信息摘要:
  真空镀膜的常见故障以及处理方法总结  真空镀膜厂家:检测不到掩膜夹具翻转信号:  1、检查翻面信号源位置  2、将翻面输入信号人工短接,使用翻面检测功能,计算机能检测到信号时,证明问题在翻面控制开关上,根据情况做相应处理。检测不到信号首先检查线路,然后更换控制卡。  掩膜夹具翻转不稳定:  1、检查

  真空镀膜的常见故障以及处理方法总结

  真空镀膜厂家:检测不到掩膜夹具翻转信号:

  1、检查翻面信号源位置

  2、将翻面输入信号人工短接,使用翻面检测功能,计算机能检测到信号时,证明问题在翻面控制开关上,根据情况做相应处理。检测不到信号首先检查线路,然后更换控制卡。

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  掩膜夹具翻转不稳定:

  1、检查翻板的初始位置是否符合时机

  2、检测翻面控制开关工作是否稳定,可用指针万用表跟踪监测。

  3、检查翻转机构动作是否灵活可靠

  4、检查翻面信号次数设置

  5、检查旋转工作台是否与钟罩内壁有磨擦现象

  6、检测旋转工作台在转动时的稳定性

  在同一掩膜夹具频率散差大:

  1. 检查晶片本身是否散差大

  2. 检查膜层修正板位置是否变动,重新调节修正板

  3.检查一下挡板在开、关时是否完全遮挡住钼舟

  4.检查一下轰击环是否完遮挡住钼舟

  5、检查钼舟使用是否符合要求,要采用圆形钼舟

  锅与锅之间频率散差大:

  1、观察一下监控片是否存在跳频现象

  2、反复测量统一监控片观察振荡器的稳定性(不超过75Hz)

  3、检查冷却水是否通畅

  4、检查钼舟使用是否符合要求,要采用圆形钼舟

  5、监控片选用是否符合要求,建议采用我公司的监控片

  镀膜频率不停止:

  1、检查频率参数设置是否正确

  2、钼舟电流表是否有指示

  3、钼舟中是否有银

  4、监控片是否跳频

  5、修正系数是否错误

  6、在出现非正常退后是否更换过监控片

  测试不到频率:

  1、更换一下监控片

  2、检查一下测试弹片是否变形

  3、用一只5MHz的晶体直接插入振荡器输入端测量频率,若有频率证明是探头问题,若无频率,用计数器测量一下振荡器输出频率是否异常,无正常输出证明振荡器有问题,有正常输出但计算机无显示证明控制卡有问题。

  控制阀均不动作:

  1. 检查5V电源是否有输出,是否接好

  2. 检查固态继电器板上电源公共端是否有电

  控制阀个别不动作

  1、检查相应的固态继电器是否有输出

  未达到真空度就工作:

  1、数字真空计出现不正常数字,且30秒内无变化,例如0.00-4(国产真空计常见)现象

  2、指针表在真空计打开30秒后,黑色指针仍不摆动

  监控片使用原则

  1、监控片表面要清洗干净

  2、监控片要随用随镀,空气中暴露12小时以上禁止使用

  3、监控片及其表面存在存在缺陷的禁止使用

  4、使用过程中要记录好使用批次,严禁出现新旧混用

  5、监控片反复使用寿命为3次。

  以上就是真空镀膜厂家总结的“真空镀膜的常见故障以及处理方法”,希望对大家有所帮助,更多的资讯可以参考:http://www.tzqxms.com/?article/


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