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真空镀膜的检漏有3个过程你知道没?

发布日期:2021-01-20 16:45:10
信息摘要:
  真空镀膜的检漏有3个过程你知道没?  根据真空镀膜厂家的了解很多人不是很明白真空镀膜的检漏有3个过程,如果你是业内人士那是不合格的,如果你是小白还是情有可原的,所以赶紧来看看吧!  一、磁控镀膜机——真空镀膜机检漏有3个过程具体是哪些呢?  背压检漏是充气压力检漏和真空检漏的结合。真空镀膜设备主要用于

  真空镀膜的检漏有3个过程你知道没?

  根据真空镀膜厂家的了解很多人不是很明白真空镀膜的检漏有3个过程,如果你是业内人士那是不合格的,如果你是小白还是情有可原的,所以赶紧来看看吧!

  一、磁控镀膜机——真空镀膜机检漏有3个过程具体是哪些呢?

  背压检漏是充气压力检漏和真空检漏的结合。真空镀膜设备主要用于密封电子器件、半导体器件等密封件的无损检漏技术。

  检漏过程可分为充电、净化和检漏三个步骤。

  (1) 充压过程是将被检零件长期存放在充满高压泄漏气体的容器中。如果被检零件有泄漏,泄漏气体可通过泄漏进入被检零件内部。随着浸泡时间和充气压力的增加,被检部位泄漏气体的分压逐渐增大。

  (2) 在净化过程中,使用干氮气流或干空气流将被测样品注入加压容器外部或内部。

  如果没有气源,也可将被检零件放置在原地,以清除吸附在被检零件外表面的泄漏气体。

  在净化过程中,必然会有一部分气体通过泄漏孔从被试件内部流失,导致被试件中的示漏气体分压逐渐降低,净化时间越长,示漏气体分压降越大将。

  (3) 检漏过程是将清洗后的样品放入真空室,将检漏仪与真空室连接进行检漏。

  抽真空后,由于压差的影响,泄漏指示气体可以从试件内部通过泄漏孔流出,然后通过真空室进入检漏仪。根据检漏仪的输出指示,可以确定泄漏孔的存在和泄漏率的大小。

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