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真空镀膜产生掉膜情况的原因有哪些

发布日期:2020-12-13 07:35:19
信息摘要:
  真空镀膜产生掉膜情况的原因有哪些  产品在真空镀膜时会出现掉膜的情况,造成这样情况的原因有哪些呢?真空电镀时产生掉膜的原因很多也很复杂。  处理起来很棘手,可以考虑从以下几个方面排除:  1、表面清洁度 产品表面洁净度不够,可以考虑离子源清洗时氩气放大、时间长点。  2、清洗过程中的问题 镀前清洗不到

  真空镀膜产生掉膜情况的原因有哪些

  产品在真空镀膜时会出现掉膜的情况,造成这样情况的原因有哪些呢?真空电镀时产生掉膜的原因很多也很复杂。

  处理起来很棘手,可以考虑从以下几个方面排除:

  1、表面清洁度 产品表面洁净度不够,可以考虑离子源清洗时氩气放大、时间长点。

  2、清洗过程中的问题 镀前清洗不到位,或更换了清洗液。

  3、工艺的问题 工艺参数是否有变动,在镀膜时间和电流上做适当调整。

  4、靶材的问题 钛靶是否中毒,检查和更换。

  5、真空腔是否漏气 进行一次捡漏。

  6、产品表面氧化 氧化的原因很多,可以自行判断处理。

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