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真空镀膜机真空器件的检漏方法有哪些呢?

发布日期:2020-11-02 11:16:08
信息摘要:
  真空镀膜机真空器件的检漏方法有哪些呢?  真空镀膜厂家总结一下检漏方法有哪些:  依据电真空器材的结构特色及丈量精度要求,常用的有两种检漏办法,即氦罩法和喷吹法(这两种检漏办法具体介绍可见:氦罩法和喷吹法的氦质谱检漏仪检漏常见办法)。  检漏时,先用氦罩法进行总漏率的测定,当总漏率超出答应值后再用喷

  真空镀膜机真空器件的检漏方法有哪些呢?

  真空镀膜厂家总结一下检漏方法有哪些:

  依据电真空器材的结构特色及丈量精度要求,常用的有两种检漏办法,即氦罩法和喷吹法(这两种检漏办法具体介绍可见:氦罩法和喷吹法的氦质谱检漏仪检漏常见办法)。

  检漏时,先用氦罩法进行总漏率的测定,当总漏率超出答应值后再用喷吹法进行漏孔的精确认位。

  氦罩法是被检件与检漏仪衔接抽真空到达检漏状况后,用一个充溢氦气的查验罩,把被检件全体或部分的表面面包围起来。

  查验罩充氦时先将罩内空气排出再充氦,以确保罩内氦浓度尽可能挨近100百分之,被检件上任何地方有走漏。

  检漏仪都会有漏率值改变,显示出漏率值。氦罩时刻也要继续3~5倍检漏仪呼应时刻。

  ASM192T2氦质谱检漏仪反应时刻小于0.5s,因而氦罩时刻30s即可。

  氦罩法可方便地测定被检件总漏率,不会漏掉任何一处漏点,但不能确认漏孔方位。

  喷吹法是将被检件与仪器的真空体系相连,对被检件抽真空后用喷枪向可疑漏孔处吹喷氦气。

  当有漏孔存在时,氦气就经过漏孔进入质谱仪被检测出,喷吹法弥补了氦罩法不能定位的缺点。

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